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供应韩国VPS大抽气量干式螺杆真空泵

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    VPS干式螺杆真空泵特征



1) 工作腔内无水无油,通过转子转动产生清洁真空。

2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。

3) 通过特殊涂层处理,可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。

4) 工作方式不使用油或水,大幅降低操作成本。

5) 密封方式为机械或双唇密封。

6) 简便的设计易于设备维护。

7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触,使用寿命长。

8) 气体通过泵体可迅速排出。

9) 螺杆转子具有较高的容积效率。

10) 较低的转速可降低振动及噪音。



干式螺杆泵的应用范围:



在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。

在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。

制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。

化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺

工业排气;集中式真空处理系统

挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。

涉及无忧污水真空处理的所有应用

食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等。



VPS?大型干式螺杆真空泵?参数表



(变螺距干式螺杆真空泵)



型 号





VPS-P1500





VPS-P27

 
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